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二维压电高速微型扫描平台

可选项 a.[ SG ] 应变片传感器 b.[ ECS ]电涡流位移传感器 c.[ SI ]特定接口 d.[ VAC ]真空版本 e.[ SV ]支持定制
技术参数

开环型号



DMXY.25

DMXY.23

DMXY.29

性能

技术条件

单位

标准行程

小行程

大行程

传感器选择

型号尾号含[ -SG ]应变片 为闭环

型号尾号无[ -SG ]应变片 为开环

-

-

-

-

运动方向

X,Y(水平两轴)

-

-


--

X轴开环**空载单轴输出位移±10%(@150V)

注:使用时X轴和Y轴含相互影响,需要解耦计算

μm

25μm

23μm

29μm

Y轴开环**空载单轴位移±10%(@150V)


μm

25μm

23μm

29μm

Z轴旋(Max) ±10%(@150V)

µrad

50.00

42.50

57.50

XY轴旋(Max) ±10%(@150V)

µrad

10.00

8.50

11.50

空载**推力

零位移输出力

N

40

32

48

**刚度


N/µm

2.50

2.00

2.75

空载谐振频率(驱动方向)

谐波激励,理想状态

Hz

3000

2400

3450

响应时间

静态激励,理想状态

ms

0.17

0.15

0.19

电容量±10%

静态激励,理想状态

µF

0.50

0.45

0.65

设备重量


g

80

80

100

开环分辨率(控制器DAC18位)

nm

0.11

0.1

1.26

高度

mm

16.5

17.5

19

X宽

mm

50x50

50x50

50x50

标准机械接口(有效载荷)

1 个 Ø 17 mm 孔 + 4 个 Ø 2.2 mm@Ø 20 mm

标准机械接口(框架)

固定底座45mm 上有 4 个 Ø 2.8 mm 的孔

标准电气接口

J30JZLN15ZKWA000

静态激励

–20 ~ 150 V(1 Hz)

谐波激励

电压为0.5 V,正弦模式,0 ~ 100 kHz

理想状态

致动器固定在假定无限刚性的机械支架上

位移测量

激光干涉仪、电容式位移传感器

驱动陶瓷电容量测量

阻抗分析仪

测试环境

温度15~25°C,湿度 < 50 % RH

任何与上述定义不同的技术参数都可能导致特性存在差异。


测试项目

1. 电容与频率阻抗特征曲线

2. 驱动电压与输出位移特征曲线


订购型号:

标准开环行程版:DMXY.25

标准闭环行程版:DMXY.25-SG   (应变片传感器)

小行程开环行程版:DMXY.23

小行程闭环行程版:DMXY.23-SG   (应变片传感器)

大行程开环行程版:DMXY.29

大行程闭环行程版:DMXY.29-SG   (应变片传感器)



产品尺寸