开环型号 | DMXY.25 | DMXY.23 | DMXY.29 | ||
性能 | 技术条件 | 单位 | 标准行程 | 小行程 | 大行程 |
传感器选择 | 型号尾号含[ -SG ]应变片 为闭环 型号尾号无[ -SG ]应变片 为开环 | - | - | - | - |
运动方向 | X,Y(水平两轴) | - | - | -- | |
X轴开环**空载单轴输出位移±10%(@150V) | 注:使用时X轴和Y轴含相互影响,需要解耦计算 | μm | 25μm | 23μm | 29μm |
Y轴开环**空载单轴位移±10%(@150V) | μm | 25μm | 23μm | 29μm | |
Z轴旋(Max) ±10%(@150V) | µrad | 50.00 | 42.50 | 57.50 | |
XY轴旋(Max) ±10%(@150V) | µrad | 10.00 | 8.50 | 11.50 | |
空载**推力 | 零位移输出力 | N | 40 | 32 | 48 |
**刚度 | N/µm | 2.50 | 2.00 | 2.75 | |
空载谐振频率(驱动方向) | 谐波激励,理想状态 | Hz | 3000 | 2400 | 3450 |
响应时间 | 静态激励,理想状态 | ms | 0.17 | 0.15 | 0.19 |
电容量±10% | 静态激励,理想状态 | µF | 0.50 | 0.45 | 0.65 |
设备重量 | g | 80 | 80 | 100 | |
开环分辨率(控制器DAC18位) | nm | 0.11 | 0.1 | 1.26 | |
高度 | mm | 16.5 | 17.5 | 19 | |
长X宽 | mm | 50x50 | 50x50 | 50x50 | |
标准机械接口(有效载荷) | 1 个 Ø 17 mm 孔 + 4 个 Ø 2.2 mm@Ø 20 mm | ||||
标准机械接口(框架) | 固定底座45mm 上有 4 个 Ø 2.8 mm 的孔 | ||||
标准电气接口 | J30JZLN15ZKWA000 | ||||
静态激励 | –20 ~ 150 V(1 Hz) | ||||
谐波激励 | 电压为0.5 V,正弦模式,0 ~ 100 kHz | ||||
理想状态 | 致动器固定在假定无限刚性的机械支架上 | ||||
位移测量 | 激光干涉仪、电容式位移传感器 | ||||
驱动陶瓷电容量测量 | 阻抗分析仪 | ||||
测试环境 | 温度15~25°C,湿度 < 50 % RH |
任何与上述定义不同的技术参数都可能导致特性存在差异。
测试项目
1. 电容与频率阻抗特征曲线
2. 驱动电压与输出位移特征曲线
订购型号:
标准开环行程版:DMXY.25
标准闭环行程版:DMXY.25-SG (应变片传感器)
小行程开环行程版:DMXY.23
小行程闭环行程版:DMXY.23-SG (应变片传感器)
大行程开环行程版:DMXY.29
大行程闭环行程版:DMXY.29-SG (应变片传感器)