| 参数 | 典型值 | 单位 |
| 准静态性能(1) | ||
| **角位移(2) | ±5 | mrad |
| 角分辨率(3) | <±1 | µrad |
| 线性度(3) | <0.2 | % |
| 动态性能 | ||
| 额定负载椭圆尺寸 | a:42/b:30 | mm |
| 额定负载材料 | 铝合金 | 可转接 |
| 额定负载谐振频率(4) | >1300 | Hz |
| 额定负载-3dB控制带宽@全行程(5)(6) | >450 | Hz |
| 额定负载相位滞后90°频率(5)(6) | >600 | Hz |
| 额定负载全行程阶跃稳定时间(5)(6) | <1 | ms |
| 驱动参数 | ||
| 电压范围 | -20~150 | V |
| 功耗 | ||
| 静态保持功耗(7) | 0.14 | W |
| ±100μrad,1000Hz两轴总功耗(8) | 0.2 | W |
| ±2.5mrad,200Hz两轴总功耗(9) | 8.81 | W |
| 尺寸 | ||
| 高度 | 44.8 | mm |
| 长度 | 59.6 | mm |
| 宽度 | 32.5 | mm |