参 数 | RD10 | RD20 | RD150 | |
输出位移(μm) | 微 动 控 制 | 30 | ||
分辨率(μm) | 0.006 | |||
闭环线性 | 1 | 1900 | 140 | |
刚度(N/μm) | 5 | 20.2 | 11.7 | |
空载响应频率(Hz) | 1000 | 2000 | 3000 | |
空载响应时间(ms) | 0.8 | 0.12 | 0.13 | |
加载响应时间(ms) | 600 | 1500 | 2000 | |
加载响应时间(ms) | 0.9 | 0.35 | 0.4 | |
材料温度变形(μm/°K) | 1.12 | |||
电容量(μF) | 4 | |||
驱动电压范围(V) | -20….150 | |||
输出位移(m m) | 宏 动 控 制 | 10 | 20 | 30 |
控制类型 | 闭环 | |||
反馈传感器 | 高精度位移尺 | |||
闭环分辨率(μm) | 1 | 2 | 4 | |
精度(μm) | 0.05 | 0.08 | 0.1 | |
重复定位精度(μm) | 0.1 | 0.2 | 0.4 | |
**速度mm/sec | 1 | |||
**负载g | 500 | |||
运动方向 | 控制设定正反方向 | |||
重量(g) | 450 | 520 | 620 |