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压电陶瓷位移台

产品特性
●采用压电陶瓷驱动 ●采用高精度导轨定位,压电陶瓷协调工作 ●采用有限元分析,优化结构尺寸 ●输出位移大,行程可达几十毫米
压电陶瓷位移台选型表
    参 数RD10RD20RD150
    输出位移(μm)

30
    分辨率(μm)0.006
    闭环线性11900140
    刚度(N/μm)520.211.7
    空载响应频率(Hz)100020003000
    空载响应时间(ms)0.80.120.13
    加载响应时间(ms)60015002000
    加载响应时间(ms)0.90.350.4
    材料温度变形(μm/°K)1.12
    电容量(μF)4
    驱动电压范围(V)-20….150
    输出位移(m m)

102030
    控制类型闭环
    反馈传感器高精度位移尺
    闭环分辨率(μm)124
    精度(μm)0.050.080.1
    重复定位精度(μm)0.10.20.4
    **速度mm/sec       1
    **负载g500
    运动方向控制设定正反方向
    重量(g)450520620