| 型号 | ML330组合台 | ML330独立台 | ||
| 轴号 | X轴 | Y轴 | Z轴 | RX轴 |
| 行程/转角 | 36mm | 36mm | 7mm | 360° |
| 重复定位精度(正限位复位) | <2µm | <2µm | <2µm | <0.005° |
| 分辨率 | 0.1µm | 0.1µm | 0.1µm | 0.014° |
| 运行速度 | 10mm/s | 10mm/s | 10mm/s | 300转/分(min) |
| 承载量 | <5kg | <5kg | <5kg | <0.5kg |
| 材质 | 超硬铝 | 超硬铝 | 超硬铝 | 超硬铝 |
| RX轴可夹紧直径 | / | / | / | Ф1—Ф5mm |
| 控制类型 | 开环 | 开环 | 开环 | 开环 |
| 重量 | 33kg | 3kg | 3.2kg | 0.5kg |
| 远近端正负限位 | 有 | 有 | 有 | 无 |
| 零位 | 无 | 无 | 无 | 有 |
| 材料 | 铝合金 | 铝合金 | 铝合金 | 铝合金 |
注 :高精度四轴电动组合台X轴Y轴Z轴为一体结构,不能拆分,Rx轴可分体拆卸,单独使用,Rx轴输出端具有机床夹具功能,可更换弹性套筒,可夹直径Ф1—Ф5mm的圆柱体。
