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重载压电偏摆台

产品特性
●高速亚毫秒级响应 ●压电陶瓷驱动 ●紧凑型四脚架设计带共面轴消除偏振旋转 ●闭环精度更高 ●无摩擦,高精度柔性导向系统 ●并联运动对增强动力和更好的多轴精度


重载压电偏摆台参数
                                                                         型 号
                                                                         类 型
     参 数
RC330.1-1
开环
    输出轴方向θX 、θY 、Z
    反馈传感器类型应变片(全桥)
    θX 、θY 开环摆角(0V~150V)          [mrad]±10%±1
    θX 、θY 开环摆角分辨率         [µrad]0.05
    θX 、θY 闭环摆角分辨率             [µrad]驱动电源分辨率
    Z轴输出位移(0-150V)                      [μF]±10%50
    空载响应频率                                   [KHz]2
    共振频率/φ120 x 11毫米玻璃镜         [kHz ±20%]0.2
    共振频率/φ120 x 11毫米铜镜子         [kHz ±20%]0.2
    陶瓷输出支点与输出台面距离             [mm]±0.5110
    输出台面的转动惯量                 [g • mm²]780
    电容量                                             [μF]±20%4x20
    单支动态工作电流系数                     [µA/Hz˙µm]±200.8
    机体材料超硬铝
    工作方式四点支撑
    工作温度范围                                     [℃]-20~80
    电缆长度                                            [m]5
    电压接口连接器3路单芯航插
    传感接口连接器2路4芯航插
    重量(含电缆联接器)                       [Kg]2.5



重载压电偏摆台尺寸

重载偏摆台3.jpg