型 号 类 型 参 数 | RC325.3 | RC325.3S | RC330.4 | RC330.4S | RC330.8 | RC330.8S |
开环 | 闭环 | 开环 | 闭环 | 开环 | 闭环 | |
输出轴方向 | θX 、θY、Z | θX 、θY、Z | θX 、θY、Z | θX 、θY、Z | θX 、θY、Z | θX 、θY、Z |
反馈传感器类型 | / | 3xSGS | / | 3xSGS | / | 3xSGS |
θX 、θY 开环摆角(0V~150V) [mrad±20%] | ±3 | ±3 | ±5 | ±5 | ±10 | ±10 |
θX 、θY 闭环摆角范围 [mrad] | / | ±2 | / | ±4 | / | ±8 |
θX 、θY 开环摆角分辨率 [µrad] | 0.02 | 0.02 | 0.2 | 0.2 | 0.4 | 0.4 |
θX 、θY 闭环摆角分辨率 [µrad] | / | 0.05 | / | 0.1 | / | 0.2 |
Z轴开环输出位移 [µm±20%] | 35 | 35 | 60 | 60 | 100 | 100 |
Z轴闭环输出位移 [µm] | / | 30 | / | 50 | / | 80 |
θX 、θY 输出线性度 % | / | ±0.1 | / | ±0.2 | / | ±0.25 |
θX 、θY 精度 [µrad] | / | 0.1 | / | 0.3 | / | 0.8 |
θX 、θY 重复定位精度 [µrad] | / | 0.15 | / | 0.5 | / | 1 |
Z轴输出线性度 % | / | ±0.1 | / | ±0.2 | / | ±0.2 |
Z轴精度 [nm] | / | 0.1 | / | 0.2 | / | 0.2 |
Z轴重复定位精度 [ nm ] | / | 0.5 | / | 0.1 | / | 0.1 |
Z轴开环/闭环分辨率 [nm] | 0.125/0.625 | 0.125/0.625 | 0.5/1 | 0.5/1 | 1月2日 | 1月2日 |
空载响应频率 [KHz] | 1 | 1 | 2 | 2 | 1 | 1 |
共振频率/φ25 x 8毫米玻璃镜 [kHz ±20%] | 0.8 | 0.8 | 1.5 | 1.5 | 0.8 | 0.8 |
共振频率/φ25 x 8毫米铜镜子 [kHz ±20%] | 0.5 | 0.5 | 1.5 | 1.5 | 0.8 | 0.8 |
陶瓷输出支点与输出台面距离 [mm]±0.5 | 6 | 6 | 6 | 6 | 6 | 6 |
输出台面的转动惯量 [g • mm²] | 515 | 515 | 515 | 515 | 515 | 515 |
电容量 [μF]±20% | 3x200 | 3x200 | 3x500 | 3x500 | 3x1000 | 3x1000 |
单支动态工作电流系数 [µA/Hz˙µm]±20 | 0.22 | 0.8 | 0.4 | 0.8 | 0.8 | 0.8 |
机体材料 | 铝合金 | 铝合金 | 铝合金 | 铝合金 | 铝合金 | 铝合金 |
工作温度范围 [℃] | -20~80 | -20~80 | -20~80 | -20~80 | -20~80 | -20~80 |
电缆长度 [m] | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 |
电压接口连接器 | BNC | BNC | BNC | BNC | BNC | BNC |
传感接口连接器 | / | 四芯航插 | / | 四芯航插 | / | 四芯航插 |
重量(含电缆联接器) [Kg] | 0.05 |