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三维高速倾斜台

产品特性
●高速响应
●压电陶瓷驱动 ●亚毫秒响应
●闭环精度更高 ●光束偏转至10毫弧度,分辨率为50 nrad ●活塞运动到30微米(对于路径长度调节) ●紧凑型三脚架设计带共面轴消除偏振旋转 ●为后视镜到25毫米(1“)直径 ●无摩擦,高精度柔性导向系统 ●并联运动对增强动力和更好的多轴精度

三维高速倾斜台选型表
                                                                        型 号
                                                                        类 型
     参 数
RC325.3RC325.3SRC330.4RC330.4SRC330.8RC330.8S
开环闭环开环闭环开环闭环
    输出轴方向θX 、θY、ZθX 、θY、ZθX 、θY、ZθX 、θY、ZθX 、θY、ZθX 、θY、Z
    反馈传感器类型/3xSGS/3xSGS/3xSGS
    θX 、θY 开环摆角(0V~150V)      [mrad±20%]±3±3±5±5±10±10
    θX 、θY 闭环摆角范围               [mrad]/±2/±4/±8
    θX 、θY 开环摆角分辨率       [µrad]0.020.020.20.20.40.4
    θX 、θY 闭环摆角分辨率        [µrad]/0.05/0.1/0.2
    Z轴开环输出位移                           [µm±20%]35356060100100
    Z轴闭环输出位移                           [µm]/30/50/80
    θX 、θY 输出线性度                         %/±0.1/±0.2/±0.25
    θX 、θY 精度                                   [µrad]/0.1/0.3/0.8
    θX 、θY 重复定位精度                    [µrad]/0.15/0.5/1
    Z轴输出线性度                                 %/±0.1/±0.2/±0.2
    Z轴精度                                            [nm]/0.1/0.2/0.2
    Z轴重复定位精度                             [ nm ]/0.5/0.1/0.1
    Z轴开环/闭环分辨率           [nm]0.125/0.6250.125/0.6250.5/10.5/11月2日1月2日
    空载响应频率                                 [KHz]112211
    共振频率/φ25 x 8毫米玻璃镜         [kHz ±20%]0.80.81.51.50.80.8
    共振频率/φ25 x 8毫米铜镜子         [kHz ±20%]0.50.51.51.50.80.8
    陶瓷输出支点与输出台面距离         [mm]±0.5666666
    输出台面的转动惯量             [g • mm²]515515515515515515
    电容量                                            [μF]±20%3x2003x2003x5003x5003x10003x1000
    单支动态工作电流系数                 [µA/Hz˙µm]±200.220.80.40.80.80.8
    机体材料铝合金铝合金铝合金铝合金铝合金 铝合金
    工作温度范围                                  [℃]-20~80-20~80-20~80-20~80-20~80-20~80
    电缆长度                                          [m]1.51.51.51.51.51.5
    电压接口连接器BNCBNCBNCBNCBNCBNC
    传感接口连接器/四芯航插/四芯航插/四芯航插
    重量(含电缆联接器)                  [Kg]0.05