型 号 类 型 参 数 | RC330.2 | RC330.2S | RC330.4 | RC330.4S | RC330.8 | RC330.8S |
开环 | 闭环 | 开环 | 闭环 | 开环 | 闭环 | |
输出轴方向 | θX 、θY | θX 、θY | θX 、θY | θX 、θY | θX 、θY | θX 、θY |
反馈传感器类型 | / | 4xSGS | / | 4xSGS | / | 4xSGS |
θX 、θY 开环摆角(0V~150V ) [mrad]±10% | 4 | 4 | 8 | 8 | 15 | 15 |
θX 、θY 闭环摆角范围 [mrad] | / | 2.5 | / | 5.5 | / | 10 |
θX 、θY 开环摆角分辨率 [µrad] | 0.02 | 0.02 | 0.1 | 0.1 | 0.2 | 0.2 |
θX 、θY 闭环摆角分辨率 [µrad] | / | 0.05 | / | 0.25 | / | 0.5 |
输出线性度 % | / | ±0.1 | / | ±0.2 | / | ±0.25 |
精度 [µrad] | / | 0.1 | / | 0.3 | / | 0.8 |
重复定位精度 [µrad] | / | 0.15 | / | 0.5 | / | 1 |
空载响应频率 [KHz] | 3 | 3 | 2 | 2 | 1 | 1 |
共振频率/φ25 x 8毫米玻璃镜 [kHz ±20%] | 2 | 2 | 1.5 | 1.5 | 0.8 | 0.8 |
共振频率/φ25 x 8毫米铜镜子 [kHz ±20%] | 2 | 2 | 1.5 | 1.5 | 0.8 | 0.8 |
陶瓷输出支点与输出台面距离 [mm]±0.5 | 6 | 6 | 6 | 6 | 6 | 6 |
输出台面的转动惯量 [g • mm²] | 515 | 515 | 515 | 515 | 515 | 515 |
电容量 [μF]±20% | 3x500 | 3x500 | 3x200 | 3x200 | 3x200 | 3x200 |
单支动态工作电流系数 [µA/Hz˙µm]±20 | 0.22 | 0.8 | 0.4 | 0.8 | 0.8 | 0.8 |
机体材料 | invar合金 | invar合金 | invar合金 | invar合金 | invar合金 | invar合金 |
工作温度范围 [℃] | -20~80 | -20~80 | -20~80 | -20~80 | -20~80 | -20~80 |
电缆长度 [m] | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 |
电压接口连接器 | BNC | BNC | BNC | BNC | BNC | BNC |
传感接口连接器 | / | 四芯航插 | / | 四芯航插 | / | 四芯航插 |
重量(含电缆联接器) [Kg] | 0.05 |