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一维倾斜台

产品特性
●高速响应
●压电陶瓷驱动 ●重复定位精度高
●纳米级位移分辨率 ●机体材料分铝合金和钛合金 ●具有开环和闭环两种 ●采用数控、线切割等加工工艺,严格保证构结精度 ●采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构 ●采用先进的表面处理工艺,提高了适应不同工作环境的能力

一维倾斜台选型表
                                                                  型 号
                                                                  类 型
      参 数
RC124RC124SRC150 RC150SRC150D注解
开环闭环开环闭环开环
    输出轴方向θXθXθXθXθX/
    反馈传感器类型/SGS/// @S
    θX 开环摆角(0V~120V)                [mrad]±10%           2.52.555±5 @XOA
    θX.闭环摆角范围                        [mrad]/2/4.5/ @XCA
    θX 开环摆角分辨率            [µrad]0.050.050.10.10.2 @XOR
    θX.闭环摆角分辨率                 [µrad]0.10.10.10.10.2 @XCR
    输出线性度                                   %/0.2/0.2/ /   
    精度                                             [µrad]/±1/±1/
    重复定位精度                                [µrad]/±3/±1/
    空载响应频率                            [KHz]44444
    共振频率/φ15 x 4毫米玻璃镜          [kHz ±20%]2.52.52.52.5100
    共振频率/φ15 x 4毫米铜镜子          [kHz ±20%]2.22.22.22.2±3.5
    陶瓷输出支点与输出台面距离          [mm]±0.5666610
    输出台面的转动惯量              [g • mm²]230230310310450
    电容量                                        [μF]±20%500500100010003x200
    动态工作电流系数                   [µA/Hz˙µm]±200.10.10.1//
    机体材料铝合金/Invar铝合金/Invar铝合金/Invar铝合金/Invar合金铝/Invar
    工作温度范围                                [℃]-20〜80-20〜80-20〜80-20〜80-20~70
    电缆长度                                      [m]1.51.51.51.52
    电压接口连接器BNCBNCBNCBNCBNC
    传感接口连接器/四芯航插/四芯航插/
    重量(含电缆联接器)                  [Kg]////0.05