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产品特点
■ 直线测量有效长度的变化范围为25mm-105mm ■ 重达5KG负载的纳米级精度定位

应用领域 ●工业级精度定位 ●半导体测试 ●平版印刷术 ●纳米测量 ●半导体技术 ●晶圆检测 ●纳米压印 ●强磁场和真空中运动

高精度直线压电马达

产品选型方法


1.D-PMK-30-0.5         2.D-PMK-55-0.5

3.D-PMK-105-0.5       4.D-PMB-25-0.5

5.D-PMB-50-0.5         6.D-PMB-100-0.5


直线马达选型.jpg

高精度直线压电马达参数
序号产品技术参数电源控制器技术参数
1开环(K)/闭环(B)(带增量传感器)控制方式:伺服控制/开环控制
2开环行程:30mm,55mm,105mm供电输入电压: 24VDC/4A(20V~30V)
3闭环行程:25mm,50mm,100mm静态功耗:<10 W
4开环分辨率:0.02 纳米处理器: 32bit 168MHz
5闭环分辨率:<10 纳米D/A 转换器: 16bit
6速度:15mm/s串口波特率: 115200
7线性度:1μm通信接口: USB、RS-232
8重复度:1μm峰值电流: 1A
9推力/拉力:50N(Max)平均电流: 75mA
10工作电压:-20V至+150V纹波: 10mVpp (加载2.2uF)
11工作温度:0℃至50℃额定输出功率:50W
12产品材料:铝,不锈钢工作温度范围: 0~50℃
13电缆长度: 0.5m,1m,1.5m,2m,3m输出短路电流: 60mA
14可定制移动台面及电缆长度




直线压电马达尺寸



尺寸.jpg



使用安装方式



使用安装方式.jpg