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微动测位头

产品特性
●本产品结构由宏动和微动输出组合产品 ●手动行程可到50mm ●结构可分不锈钢或铝合金结构 ●可分X轴/XY轴/XYZ轴组合 ●纳米级位移分辨率 ●具有开环和闭环两种 ●采用数控、线切割等加工工艺,严格保证构结精度 ●采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构 ●采用先进的表面处理工艺,提高了适应不同工作环境的能力
微动测位头选型参数
                                                       型   号
      参   数
RB110G RB125G  RB150GRB3100GRB3150GRB3200G
    输出轴方向手动参数XXXX、yXX
    手动行程范围         [mm]510505x5x510x10x1050x50x50
    手动分辨率(灵敏度)                        [mm]0.002
    千分尺间距          [mm]0.01
    重复定位精度         [mm]                0.005
    回程拉力                                         [N]300
    微动开环行程范围                 [µm]±20微动参数510505x5x510x10x1050x50x50
    微动闭环行程范围                         [nm]±2048454x4x48x8x845x45x45
    微动闭环/开环分辨率                    [nm]0.25/0.150. 5/0.252.5/1.255/2.57.5/3.7510月5日
    反馈传感器类型s-应变片传感器
    **推力/拉力                 [N]100/50
    闭环线性                                        [%F.S]0.05
    重复定位精度/满行程                   [nm]±0.02±0.04±1.2±2±3±3
    刚度                                               [N/µm]±2080501685.34
    **推力/拉力                            [N]2000/400
    **负载                                       [N]100
    侧向输出力                                   [N]10
    运动台面倾斜角 (θyθz)             [µrad]±0.06±0.08±1.5±2.0±3.5±4
    单路电容量                                 [μF]±20%0.20.41.20.20.41.2
    动态工作电流系数                     [µA/Hz˙µm]±20161616161616
    空载响应频率                               [Hz]±20800700600500400300
    200克负载响应频率                     [Hz]±20500400200200200100
    工作温度范围                               [℃]-20~80
    电压连接电压:BNC/传感器:航空插头
    重量(电缆)                               [Kg]0.20.45101520
    机体材料
    工作放置方式              水平应用
    输出线长                                      [m]1.5