型 号 参 数 | RB3n20S | RB3n50S | RB3100S | RB320JS | RB350JS | RB3100JS | 单位 |
轴出动运轴方向 | X、y、z | X、y、z | |||||
开环位移(0V~150V)µ | 20x20x20 | 50x50x50 | 100x100x100 | 20x20x20 | 50x50x50 | 100x100x100 | µm |
闭环位移 | 17x17x17 | 45x45x45 | 90x90x90 | 17x17x17 | 45x45x45 | 90x90x90 | µm |
反馈传感器类型 | LVDT(电感) | LVDT(电感) | / | ||||
闭环/开环分辨率 | 1.25/5 | 1.25/5 | nm | ||||
闭环线性 | / | 0.02 | / | / | 0.02 | / | %F.S |
重复定位精度/满行程 | / | 0.01 | / | / | 0.01 | / | %F.S |
运动输出台面偏摆角 | / | ±2 | / | / | ±2 | / | µrad |
输出台面与机座刚度 | 10 | 10 | N/µm | ||||
**推力/拉力 | 800/200 | 800/200 | N | ||||
**负载 | 800 | 800 | N | ||||
Z轴零点漂移量(加负载时) | 重力/刚度 | 重力/刚度 | µm | ||||
侧向输出力 | 100 | 100 | N | ||||
工作台材料 | 超硬铝 | 超硬铝 | / | ||||
工作频率 | 1 | 1 | KHz | ||||
工作温度范围 | -20~80 | -20~80 | ℃ | ||||
重量(含电缆) | 0.5 | 0.7 | Kg | ||||
接线 | 电压线与传感器线 | 电压线与传感器线 | / | ||||
驱动力 | 压电陶瓷输出力 | 压电陶瓷输出力 | / |