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三维纳米定位平台

产品特性
●高速响应; ●压电陶瓷驱动; ●较高的重复定位精度; ●纳米级位移分辨率; ●机体材料分铝合金
●具有开环和闭环两种控制方式 ●采用数控、线切割等加工工艺,严格保证构结精度 ●采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构 ●采用先进的表面处理工艺,提高了适应不同工作环境的能力
三维纳米定位平台选型表
                          型   号
     参   数
RB3n20SRB3n50SRB3100SRB320JSRB350JSRB3100JS单位
    轴出动运轴方向          X、y、zX、y、z
    开环位移(0V~150V)µ20x20x2050x50x50100x100x10020x20x2050x50x50100x100x100µm
    闭环位移17x17x1745x45x4590x90x9017x17x1745x45x4590x90x90µm
    反馈传感器类型LVDT(电感)LVDT(电感)/
    闭环/开环分辨率1.25/51.25/5nm
    闭环线性/0.02//0.02/%F.S
    重复定位精度/满行程/0.01//0.01/%F.S
    运动输出台面偏摆角/±2//±2/µrad
    输出台面与机座刚度1010N/µm
    **推力/拉力800/200800/200N
    **负载800800N
    Z轴零点漂移量(加负载时)重力/刚度重力/刚度µm
    侧向输出力100100N
    工作台材料超硬铝超硬铝/
    工作频率11KHz
    工作温度范围-20~80-20~80
    重量(含电缆)0.50.7Kg
    接线电压线与传感器线电压线与传感器线/
    驱动力压电陶瓷输出力压电陶瓷输出力/