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二维纳米定位平台

产品特性
●高速响应
●压电陶瓷驱动 ●重复定位精度高
●纳米级位移分辨率 ●机体材料分铝合金和钛合金 ●具有开环和闭环两种
●采用数控、线切割等加工工艺,严格保证构结精度 ●采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构 ●采用先进的表面处理工艺,提高了适应不同工作环境的能力


  • 二维纳米定位平台选型表
  • 尺寸参数
                                                  型   号
      参   数
RB210 RB225  RB250RB2100RB2150RB2200
    输出轴方向X、YX、YX、YX、YX、YX、Y
    ·开环位移(0V~150V)          [μm]±2010x1020x2050x20100x20150x20200x20
    闭环位移                             [μm]7x716x1645x4590x90140x140190x190
    反馈传感器类型s-应变片传感器/L-电感传感器/C-电容传感器(任选)
    闭环/开环分辨率                  [nm]0.5/0.250.125/0.6252.5/1.255/2.57.5/3.7510月5日
    闭环线性                             [%F.S]0.050.050.050.050.050.05
    重复定位精度/满行程           [nm]±0.02±0.04±1.2±2±3±3
    刚度                                   [N/μm]±2080501685.34
    **推力/拉力                   [N]800/200800/200800/200800/200800/200800/200
    **负载                             [N]600600600600600600
    侧向输出力                         [N]100100100100100100
    运动台面倾斜角(θyθz)        [μrad]±0.06±0.08±1.5±2.0±3.5±4
    电容量                              [μF]±20%1.22.45.410.816.221.6
    动态工作电流系数             [μA/Hz˙μm]±20161616161616
    空载响应频率                     [Hz]±20800700600500400300
    200克负载响应频率            [Hz]±20500400200200200100
    工作温度范围                     [℃]-20~80
    电压连接电压:BNC/传感器:航空插头
    重量(电缆)                     [Kg]0.40.71.11.52.22.8
    机体材料超硬铝
    工作放置方式              水平应用
    输出线长                           [m]1.5
    开环控制驱动器型号RH12
    闭环/开环控制器型号RE52