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一维Z轴纳米级精度定位平台

产品特性
●高速响应 ●压电陶瓷驱动 ●较高的重复定位精度 ●纳米级位移分辨率 ●机体材料分铝合金和钛合金 ●具有开环和闭环两种 ●采用数控、线切割等加工工艺,严格保证构结精度            ●采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构 ●采用先进的表面处理工艺,提高了适应不同工作环境的能力

一维Z轴纳米级精度定位平台参数
                                                        型   号
          指 标
RB110Z单位
    输出轴方向z (维)
    开环位移(0V~150V)100-400(任选)µm
    开环位移分辨率10nm
    刚度8N/μm
    开环定精度按电压与位移数据和曲线图/
    **推力20N
    **拉力20N
    **负载100g
    电容量   10,8μF
    空载响应频率   500[Hz]±20
    工作温度范围-20~80
    电压连接电压:BNC/传感器:航空插头/
    重量(电缆)400g
    机体材料超硬铝/
    工作放置方式 垂直应用/
    输出线长   1.5m
    外形尺寸AXBXC60x35x30mm
    运动部分DXE20X10mm
    外型尺寸FXG44X45mm
    安装尺寸50x20/
    提供尺寸外形图纸/