型 号 参 数 | RB110ZS | RB125ZS | RB150ZS | RB1100ZS | RB1150ZS | RB1200ZS |
输出轴方向 | Z | Z | Z | Z | Z | Z |
开环位移(0V~150V)µ [µm]±20 | 10 | 20 | 50 | 100 | 150 | 200 |
闭环位移 [µm] | 7 | 16 | 45 | 90 | 140 | 190 |
反馈传感器类型 | s-应变片传感器/L-电感传感器/C-电容传感器(任选) | |||||
闭环/开环分辨率 [nm] | 0.5/0.25 | 0.125/0.625 | 2.5/1.25 | 5/2.5 | 7.5/3.75 | 10月5日 |
闭环线性 [%F.S] | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
重复定位精度/满行程 [nm] | ±0.02 | ±0.04 | ±1.2 | ±2 | ±3 | ±3 |
刚度 [N/µm]±20 | 80 | 50 | 16 | 8 | 5.3 | 4 |
**推力/拉力 [N] | 2000/400 | 2000/400 | 2000/400 | 2000/400 | 2000/400 | 2000/400 |
**负载 [N] | 1600 | 1600 | 1600 | 1600 | 1600 | 1600 |
侧向输出力 [N] | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 |
运动台面倾斜角 (θyθz) [µrad] | ±0.06 | ±0.08 | ±1.5 | ±2.0 | ±3.5 | ±4 |
电容量 [μF]±20% | 1.2 | 2.4 | 5.4 | 10.8 | 16.2 | 21.6 |
动态工作电流系数 [µA/Hz˙µm]±20 | 16 | 16 | 16 | 16 | 16 | 16 |
空载响应频率 [Hz]±20 | 800 | 700 | 600 | 500 | 400 | 300 |
200克负载响应频率 [Hz]±20 | 500 | 400 | 200 | 200 | 200 | 100 |
工作温度范围 [℃] | -20~80 | |||||
电压连接 | 电压:BNC/传感器:航空插头 | |||||
重量(电缆) [Kg] | 2 | 4 | 5 | 10 | 15 | 20 |
机体材料 | 超硬铝 | |||||
工作放置方式 | 垂直应用 | |||||
输出线长 [m] | 1.5 |