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一维Z轴纳米定位平台

产品特性
●高速响应
●压电陶瓷驱动 ●重复定位精度高
●纳米级位移分辨率 ●机体材料分铝合金和钛合金 ●具有开环和闭环两种 ●采用数控、线切割等加工工艺,严格保证构结精度 ●采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构 ●采用先进的表面处理工艺,提高了适应不同工作环境的能力
一维Z轴纳米定位平台选型表
                                                型   号
       参   数
RB110ZS RB125ZS  RB150ZSRB1100ZSRB1150ZSRB1200ZS
    输出轴方向ZZZZZZ
    开环位移(0V~150V)µ         [µm]±20102050100150200
    闭环位移                                 [µm]7164590140190
    反馈传感器类型s-应变片传感器/L-电感传感器/C-电容传感器(任选)
    闭环/开环分辨率                    [nm]0.5/0.250.125/0.6252.5/1.255/2.57.5/3.7510月5日
    闭环线性                                 [%F.S]0.050.050.050.050.050.05
    重复定位精度/满行程            [nm]±0.02±0.04±1.2±2±3±3
    刚度                                        [N/µm]±2080501685.34
    **推力/拉力                     [N]2000/4002000/4002000/4002000/4002000/4002000/400
    **负载                                [N]160016001600160016001600
    侧向输出力                            [N]100100100100100100
    运动台面倾斜角 (θyθz)     [µrad]±0.06±0.08±1.5±2.0±3.5±4
    电容量                                 [μF]±20%1.22.45.410.816.221.6
    动态工作电流系数             [µA/Hz˙µm]±20161616161616
    空载响应频率                       [Hz]±20800700600500400300
    200克负载响应频率             [Hz]±20500400200200200100
    工作温度范围                       [℃]-20~80
    电压连接电压:BNC/传感器:航空插头
    重量(电缆)                       [Kg]245101520
    机体材料超硬铝
    工作放置方式              垂直应用
    输出线长                              [m]1.5