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一维纳米定位平台

产品特性
●高速响应
●压电陶瓷驱动 ●重复定位精度高
●纳米级位移分辨率 ●机体材料分铝合金和钛合金 ●具有开环和闭环两种 ●采用数控、线切割等加工工艺,严格保证构结精度 ●采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构
●采用先进的表面处理工艺,提高了适应不同工作环境的能力
  • 一维纳米定位平台选型表
  • 外形尺寸参数
                                                      型 号
       参数
RB110S RB125SRB150SRB1100SRB1150SRB1200S
    输出轴方向XXXXXX
    开环位移(0V~150V)µ     [µm]±20102050100150200
    闭环位移                                [µm]7164590140190
    闭环反馈传感器类型s-应变片传感器
    闭环/开环分辨率                   [nm]0.25/0.50.5/11月2日2.5/52.5/52.5/5
    闭环线性                                [%F.S]0.050.050.050.050.050.05
    闭环重复定位精度                 [nm]±0.02±0.04±1.2±2±3±3
    刚度                                       [N/µm]±2080501685.34
    **推力/拉力                    [N]800/200
    **负载                               [N]600
    侧向输出力                           [N]100
    运动台面倾斜角 (θyθz)   [µrad]±0.06±0.08±1.5±2.0±3.5±4
    电容量                                [μF]±20%1.22.45.410.816.221.6
    动态工作电流系数            [µA/Hz˙µm]±2016
    空载响应频率                      [Hz]±20800700600500400300
    200克负载响应频率            [Hz]±20500400200200200100
    工作温度范围                      [℃]-20~80
    电压连接电压:BNC/传感器:航空插头
    重量(电缆)                      [Kg]0.150.30.50.711.2
    机体材料超硬铝
    工作放置方式              水平应用
    输出线长                             [m]1.5
    开环控制驱动器型号   RH11
    闭环/开环控制器型号RE51


                 型号
    序号
RB110SRB125SRB150SRB1100SRB1150SRB1200S单位
    Ⅰ62x62100x100130x130mm
    Ⅱ52x5288x52114x114mm
    Ⅲ40x4055x5565x65mm
    Ⅳ4-M3深104-M4深104-M4深10mm
    Ⅴ32x3245x4540x40mm
    Ⅵ222222mm
    Ⅷ202020mm
    Ⅶ8810mm
    Ⅹ4-Φ84-Φ84-Φ10mm
    Ⅸ4-Φ4.5Φ4.5Φ5.5mm